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热点事件2022-11-03 01:48:44
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上科大吴涛课题组在钪掺杂氮化铝压电薄膜与谐振器领域取得重要进展上科大信息学院吴涛课题组致力于利用先进传感材料与微纳工艺研发微纳机电传感器件与系统(MEMS),主要包括压电声学微纳器件与IC接口电路、声光磁等多物理场调控与传感系统等。近期,课题组在高浓度钪掺杂氮化铝(AlScN)压电薄膜谐振器的
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